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진공플랫폼

  • PLVS
    - 최적의 시스템 구성·최소Foot-Print
    - 클린 반송
    - 초고진공 대응
    - High Throughput
  • RI150
    - 사이즈 : 300mm, 200mm, 150mm、사각기판 등
    - 진공격벽 구조에 의한 초고진공 대응
    - 동작속도:3초/360deg
    - 분해능:0.000343deg/Pulse
    - 가반중량:최대1kg
    - 반복 정밀도:±0.02deg
  • RE161
    - 고속·고정밀도
    - 동작 Stroke : 70mm혹은300mm
    - 가반중량 : 50kg
    - 반복 정밀도 : ±0.05mm