제품정보
반도체 물류
EFEM
개요
- Wafer를 공정장비에 반송해 주는 장비이다.
특징
- Aligner, Storage 등의 User 요청사항 적용 가능
- Applicable carrier
- 300mm FOUP (SEMI E47.1)
- Auto Door FOSB (SEMI M31)
- 반송대상 : 300mm Silicon Wafer
- Interface Port : 3 in / 3 out
- 반송 Interface : OHT, AGV
제품 및 기술 문의
- 담 당 자 : 박진우 부장 (영업그룹)
- 전화번호 : 031-329-9632
- 이 메 일 : pjw412@rorze.co.kr
