HOME > 제품소개 > Aligner

Aligner

  • RA420L
    - Throughput 향상
    - 투명체Glass, 접합Wafer 대응
  • RA320
    - 투명체(Glass), 접합, Notchless Wafer 대응 가능(L타입)
    - 소형·경량
    - 공간 절약
  • RA321
    - 고속·고정밀도
    - 장치의 Throughput 향상(Buffer장착)
    - 투명체(Glass), 접합, 화상Sensor를 별도 조합시켜, Notchless Wafer 도 대응 가능
  • RA120
    - Robot Arm과의 협조 동작으로, Wafer Alignment실시
    - Spindle 축만 있는 구조로 Compact함.
    - 당사 독자적인 적외선 Sensor로 Wafer검출.