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Robots

  • RR75*
    - 전축 Stepping Motor 탑재
    - 주행축 없이, 2Port로 Access 가능 (ABS Encoder 사양)
    - Arm 강성화에 의해 고 중량 Hand 대응 (RR756、RR757、RR759)
    - Double Arm 사양으로 높은 Throughput
    - 로봇 주행축 제어 가능
    - 선회 사각 지대가 없어, 전 방향 Access 가능 (RR759)
  • RR73B
    - 전축 ABS Encoder 장착 Stepping Servo Motor 장착
    - 4Port 까지 주행축 없이 Access 가능
    - Double Blade에 의한 Wafer 반송 Throughput 향상
    - 공간 절약화 실현
  • RR481
    - 작은 선회 영역 (Small Foot-Print)
    - 긴 Finger 대응, Long Reach
    - 좁은 Gate 개구 Size에 대응 (15mm)
    - 고정밀도
    - 초고진공 대응
    - High Throughput
    - AWC옵션 대응(Wafer 위치 보정)
  • RR352L 352S
    - S자 가감속 제어로 고속 반송
    - 자성 유체 Seal과 Filter로 발진 대책
    - 로봇 교환, 유지보수가 용이한 Chamber 상면 교환 방식
    - 대칭 Finger Type, SEMI 규격 대응 Arm Type 이 있음
  • RR493
    - 작은 선회 영역 (Small Foot-Print)
    - 긴 Finger 대응, Long Reach
    - 좁은 Gate 개구 Size에 대응 (15mm)
    - 고정밀도
    - 초고진공 대응
    - High Throughput
    - AWC옵션 대응(Wafer 위치 보정)
  • RR492
    - 고정밀도
    - 초고진공 대응
    - High Throughput
    - AWC옵션 대응(Wafer 위치 보정)
  • RR491
    - 고정밀도
    - 초고진공 대응
    - High Throughput
    - AWC옵션 대응(Wafer 위치 보정)