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LoadPort (ACE300)

ItemSpecifications
Load Port ModelRV201-F07-T01
무게59KG
적용 Carrier300mm FOUP(SEMI E47.1)
Auto Door FOSB(SEMI M31)
Carrier 반송높이900mm, ±10mm
Carrier 반송방식Manual or automatic
FOUP Open Close TimeOpen: Max. 17 sec. (Including Wafer Mapping)
Close: Max. 13 sec.
StrokeY축 Stroke164.5mm
Y축 반복 정밀도±0.1mm
Y축 Stroke380mm
Y축 반복 정밀도±0.1mm
θ축 Stroke180 deg.
θ축 반복 정밀도±0.1 deg.
FOUP의 ClampCylinder 동작
FOUP Door와의 연결Vacuum 사용(-60Kpa~-80Kpa)
FIMS 정밀도Registration Pin 위치 정밀도: ±0.1mm
(SEMI규격 E62 기준)