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OS TESTER

본 장치는 FPD향 Glass의 Active 영역에 인쇄된 Data Line, Gate Line, Common Line에서 Line간의 단락 유무, ASG 단자와 Fanout Line 영역의 단락 유무를 접촉/비 접촉 Sensor를 이용하여 검출하는 장비이다 . 또한 단락이 검출된 회로의 위치(라인 및 좌표)를 검사하여 Main Host에 전송, Repair 공정을 수행하도록 한다.

Vision System을 이용한 Auto Setting이 적용되어 있으며, Maintenance가 편리하도록 S/W구성이 되어 있다.

Pattern의 Open과 Short을 접촉과 비 접촉 방식으로 검출 가능하고 Sensor Module의 Simple화를 통하여 Maintenance 용이하다.
Noise 저감 기능을 통하여 Glass와 Sensor간의 충분한 Margin 확보를 가지고 있다.

장비의 성능

  • Scan Method : 비 접촉과 접촉 방식 모두 적용 가능
  • Bandwidth : 주파수 가변형
  • 전원 사양 : AC220V, 3Ph, 50~60Hz, 28KVA
  • Clean Dry Air : 공급압 : 7~8kg/cm2 / 소모량 : 750L/min
  • Vacuum : 공급압 : -80~-100kpa / 소모량 : 100L/min
  • Cleanness : Class 10(0.5um이하)
  • Camera : Align, Capture, Monitoring, Setting