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Wafer Sorter

본 장비는 300mm 반송용 FOUP/FOSB 대응 Wafer Sorter Station으로 Wafer의 Dumping, Alignment, OCR Reading 기능을 수행. 구성요소는 Wafer 반송부, Load Port, Aligner, OCR등으로 구성되며 FFU, CCD Camera ,Ionizer 등의 다양한 요청사항이 적용가능하며 Maintenance 성이 용이함.

Wafer 반송부 FOUP 안의 Wafer 를 이송하기 위한 WTR 과 Linear Stage 로 구성.

Load Port 300mm Wafer FOUP를 개폐하는 장치로 RGV, AGV, OHT에 대응가능하며 Semi 규격에 준하여 제작.

Aligner / OCR Wafer 의 ID Reading 및 Notch 정렬을 수행하는 장치.

FFU Module Sorter 내에 높은 Clean 도 유지를 위한 Filter Module.

OP Panel 작업자의 조작편의 시설을 갖춘 Operation Panel.

장비의 성능

  • Wafer size : 300mm Silicon Wafer
  • Carrier : 25 Wafers
  • Load port Configuration : 300mm LPM (4FOUP)