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EFEM

본 장비는 다양한 반도체 공정장비와 연결되어 Wafer를 반송하여 주는 장치로 Clean Robot, Load Port, Linear Stage등으로 구성되어있으며 FFU, Aligner 등의 다양한 요청사항이 적용가능하며 Maintenance 또한 용이함.

Wafer 반송부 FOUP 내부의 Wafer 를 이송하기 위한 Clean Robot 과 Linear Stage 로 구성

Load Port - 300mm Wafer FOUP를 개폐하는 장비.
- RGV, AGV, OHT에 대응 가능하며 Semi 규격에 준하여 제작.

FFU ModuleEFEM 내에 높은 Clean 도 유지를 위한 Filter Module.

OP Panel작업자의 조작편의 시설을 갖춘 Operation Panel.

장비의 성능

  • Wafer Size : 300mm Silicon Wafer
  • Carrier : 25 Wafers
  • Load port Configuration : 300mm LPM(3Foup)