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Index

본 장비(이하 Index라 칭함)는 FAB공정으로 투입된 Glass를 Process 장비의 Input부와 Output 부에서 Glass 투입 및 취출을 하여 공정간 이송을 위한 적재 단위인 Cassette에 사용하는 Robot 응용시스템으로 통상 Cassette를 안착하는 Port Unit와 Robot이 구동되는 주행 축 Unit 그리고 기타 안전 Fence Unit로 구성된다.

주행축 Unit Robot은 주행 축을 따라 직선이동을 하고 Cassette에 적재된 원판/단판 Glass를 Index 운영 System의 지시에 의해 이재 및 적재하며, FAB 공정 설비 내 Stage로 Un/Loading하는 것을 주 작업으로 한다.

Port Unit STK에 의해 운반되는 Cassette를 안착시키는 Unit으로 Cassette를 Clamp하여 Robot이 Cassette 내 Glass를 이/적재 할 수 있도록 한다.

Fence Unit Index System과 관련된 사고를 미연에 방지하기 위한 Fence로 주행 축 Unit 및 Robot의 Maintenance가 가능하도록 Open 가능한 Door부와 Operation Panel 및 Emergency Button 등의 부가 장치들이 부착된다.

장비의 성능

  • ROBOT 주행방식 : Rack/Pinion에 의한 직선운동
  • 주행속도 : FAB 2.0m/s
  • 주행 축 반복정밀도 : ±2.0mm (Glass 기준)